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    鈮酸鋰基混合集成光纖陀螺光學芯片

    699   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:43:06
    本發明公開了一種鈮酸鋰基混合集成光纖陀螺光學芯片，包括鈮酸鋰波導芯片、光源及信號探測器，其中鈮酸鋰波導芯片包括相互連通的第一Y分支波導、第二Y分支波導、三個90°圓弧波導、錐形波導和直波導，錐形波導的寬端作為光學芯片的光輸入端口，光源正對光輸入端口，直波導的一端作為光學芯片的信號輸出端口，信號探測器的光敏面正對信號輸出端口；該光學芯片的制備工藝主要采用光刻的方法，結合干法刻蝕技術、鈦擴散及退火質子交換技術獲得；該集成芯片替代了傳統光纖陀螺中分立的光學器件，將光源、探測器、耦合器及調制器集成在一個鈮酸鋰基片上，提高光纖陀螺光學系統的集成度，從而提高光纖陀螺的可靠性和環境適應性。
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    聲明：
    “鈮酸鋰基混合集成光纖陀螺光學芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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