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    用于制備無定形硼硅酸鋰的方法

    894   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:43:06
    本發明提供用于制備無定形硼硅酸鋰化合物或摻雜的硼硅酸鋰化合物的氣相沉積方法，所述方法包括：提供所述化合物的每種組分元素的蒸氣源，其中所述蒸氣源至少包括鋰源、氧源、硼源和硅源、以及任選的至少一種摻雜劑元素源；以低于約180℃的溫度提供基底；輸送所述鋰、所述氧、所述硼和所述硅以及任選的所述摻雜劑元素的流，其中所述氧的流速為至少約8×10?8m3/s；以及將來自所述蒸氣源的組分元素共沉積到所述基底上，其中所述組分元素在所述基底上反應以形成所述無定形化合物。
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    “用于制備無定形硼硅酸鋰的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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