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    在鋰電池生產用軋輥表面制備氮化鈦膜層的方法

    816   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:45:04
    本發明涉及一種在鋰電池生產用軋輥表面制備氮化鈦膜層的方法，包括步驟(1)對鋰電池生產用軋輥表面進行預處理；(2)將預處理后軋輥固定在氮化爐內工件臺上進行自轉，并將鈦或者鈦合金靶材裝配在靶材工裝上；(3)對氮化爐進行抽真空后通入氮氣；(4)以軋輥為陰極，氮化爐為陽極，在軋輥和氮化爐之間加載直流脈沖高壓電進行通電，氮氣發生電離，軋輥周圍含氮氣體產生輝光放電，進行離子滲氮處理；(5)離子滲氮處理后，經離子源向氮化爐內注入氮化鈦離子束，調節氮化鈦離子束注入的溫度、能量、束流和劑量，對軋輥表面進行高能離子注入處理，冷卻至室溫，形成氮化鈦膜層。本發明耐磨性及結合強度好，表面硬度高，孔隙率底，不會剝落。
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