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    鈮酸鋰單晶薄膜疇壁增強力電耦合響應器件制備方法

    943   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:49:05
    本發明屬于半導體器件加工制造技術領域，公開了一種鈮酸鋰單晶薄膜疇壁增強力電耦合響應器件的制備方法，利用原子力顯微鏡在鈮酸鋰單晶薄膜上施加電壓實現電疇翻轉，采用光刻工藝在已經實現電疇翻轉的鈮酸鋰薄膜/硅基鍵合片表面進行對準標記制備并完成金屬電極濺射，使用IBE干法刻蝕和RIE工藝實現鈮酸鋰和二氧化硅層的圖形化，最后采用深硅技術刻蝕剩余硅層并封裝，完成器件制備。本發明采用鐵電材料電疇調控和MEMS微納加工工藝相結合，制備鈮酸鋰單晶薄膜力電耦合器件，有效解決傳統力電耦合器件力電耦合效率低和功能集成化低等問題，制得器件無鉛無毒，使用壽命長，可重復使用，具有對環境友好、穩定性高、靈敏度高和寬溫區等優點。
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    “鈮酸鋰單晶薄膜疇壁增強力電耦合響應器件制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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