本發明涉及一種全固態薄膜鋰離子電池用電解質薄膜的制備方法,電解質薄膜為非晶無定形態的鋰磷氧氮薄膜,該制備方法采用射頻磁控濺射方法。本發明方法制備的LiPON薄膜為非晶無定形態,離子電導率大于2×10?6S/cm,并且具有熱力學穩定性好和電化學窗口寬等良好的電化學性能,是非常理想的固體電解質材料,特別適于生產體積小、高能量密度、壽命長的全固態薄膜鋰離子電池。
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