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    鈮酸鋰薄膜超晶格的制備方法

    830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:51:11
    本申請提供一種鈮酸鋰薄膜超晶格的制備方法，包括：1)制備套刻標記；2)根據套刻標記，在x切的鈮酸鋰薄膜表面制備周期性叉指電極結構；3)在光刻好的叉指電極結構上鍍金屬電極；4)去除光刻膠，得到周期性叉指電極；5)在一側叉指電極上接入電極正極，另一側叉指電極接地，施加電場，使得叉指電極之間疇翻轉，去除電極，得到第一周期性疇翻轉結構；6)將套刻標記向右平移一個周期的距離，重復步驟2)～5)，得到第二周期性疇翻轉結構；7)重復執行步驟6)，直至得到的所有疇翻轉結構之間的間距相等，完成制備。采用前述的方案，采用多次套刻，多次電場極化，在x切的鈮酸鋰薄膜表面制備周期性的電極，制備出疇壁與z軸垂直的疇結構。
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    聲明：
    “鈮酸鋰薄膜超晶格的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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