本發明涉及電子特氣制造技術領域,公開的一種制備烷基硅烷及三氯化硼回收溶劑聯產氯化鋰方法,采用的制備系統,包括:烷基硅烷合成系統、溶劑回收及氯化鋰制備系統、三甲基硅烷和氯化硼制備系統、二甲基硅烷制備系統、甲基硅烷制備系統,烷基硅烷合成系統第一出口端通過管道與溶劑回收及氯化鋰制備系統聯通,烷基硅烷合成系統第二出口端通過管道與三甲基硅烷及氯化硼制備系統聯通,三甲基硅烷及氯化硼制備系統冷凝出口端通過管道與二甲基硅烷制備系統聯通,二甲基硅烷制備系統冷凝出口端通過管道與甲基硅烷制備系統聯通。本發明能夠使各種物料都得到充分利用,無易燃易爆易腐蝕副產物產生,無廢棄物排放,具有環境友好的優點。
聲明:
“制備烷基硅烷及三氯化硼回收溶劑聯產氯化鋰的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)