本發明提供一種兼容鍺硅探測器和薄膜鈮酸鋰調制器的硅光集成芯片,包括:薄膜鈮酸鋰調制器以及單片集成在硅光集成芯片中的鍺硅結構探測器。本發明采用混合集成方式將薄膜鈮酸鋰調制器集成到硅光集成芯片,完成集成后的集成芯片既擁有高速調制器,也具備高速探測器,可更好的滿足未來通信對信號傳輸速率的要求;保證小型化的前提下大幅提升集成度;大大提高了調制效率和帶寬。
聲明:
“兼容鍺硅探測器和薄膜鈮酸鋰調制器的硅光集成芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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