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    鉭酸鋰單晶基板的制造方法

    1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:08:43
    本發明的目的在于提供一種不需要減壓工序、多達數次的還原處理，并且通過新型的還原處理制造均質性高的體積電阻率為1×1010Ω·cm以上并小于1×1012Ω·cm的鉭酸鋰單晶基板的方法。本發明的特征在于，將體積電阻率為1×1012Ω·cm以上且為單疇結構的鉭酸鋰單晶基板埋入碳酸鋰粉末中，在常壓下、惰性氣體和還原性氣體的混合氣體氛圍中，以350℃以上且居里溫度以下的溫度進行熱處理。另外，在這種情況下，優選混合氣體中的還原性氣體的濃度為20.0％以下。
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