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    鈮酸鋰晶體高效超光滑化學機械拋光方法

    894   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:10:19
    一種鈮酸鋰晶體高效超光滑化學機械拋光方法，屬于非線性光學晶體超精密加工技術領域。其特征是樣品為鈮酸鋰晶片，采用固結磨料研磨、保持環硬拋光墊拋光、保持環軟拋光墊化學機械拋光相結合的加工方法，硬拋光墊為合成革或聚氨酯拋光墊，軟拋光墊為無紡布或絨毛拋光墊?；瘜W機械拋光液的pH值為10.2-10.6，含有氧化鈰、氧化硅、氫氧化鉀、氫氧化鈉、氫氧化鋇、高錳酸鉀、雙氧水、檸檬酸、醋酸、草酸中的四種。固結磨料研磨時間為15-25min，硬拋光墊拋光時間為50-70min，化學機械拋光時間為3-6min?；瘜W機械拋光的材料去除率為420-460nm/min，拋光后鈮酸鋰的平面度為3.8-5.5μm，表面粗糙度Ra為0.35-0.5nm，PV值為3.8-6nm。本發明的效果和益處是實現了非線性光學晶體高效超光滑拋光方法。
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    “鈮酸鋰晶體高效超光滑化學機械拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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