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    利用真空磁控濺射鍍膜技術制備鋰電池C?Si負極涂層的方法

    832   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:10:51
    本發明公開一種利用真空磁控濺射鍍膜技術制備鋰電池C?Si負極涂層的方法，該方法包括如下步驟：選取光面銅箔，按所使用的真空磁控濺射鍍膜設備裝載尺寸進行分切；設置真空磁控濺射鍍膜設備的Si陰極靶與C陰極靶的安裝位置，使Si陰極靶濺射的Si等離子和C陰極靶濺射的C等離子摻雜濺鍍實現1/2的體積重疊；設置真空磁控濺鍍工藝條件；在真空環境中，真空直流磁控濺鍍參雜鍍C?Si膜,使Si等離子和C等離子摻雜并達到200?500nm厚度；鍍膜后的銅箔在真空干燥箱內干燥后真空袋封存；本發明通過磁控濺射真空鍍膜技術在鋰電池負極銅箔上沉積一層C?Si復合負極薄膜，以提高負極電極電性能。
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