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    基于LiPON固態電解質的鋰離子電容器的制備方法

    706   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 22:15:00
    本發明屬于電容器的制備方法技術領域,具體涉及一種基于LiPON固態電解質的鋰離子電容器的制備方法,包括下列步驟:先設置一層Si基底;提供Al靶材,通過反應磁控濺射,在S Si基底上沉積Al層集流體;制備石墨烯靶材,以石墨烯為靶材,利用反應磁控濺射,在Al層集流體上沉積石墨烯層;提供Li3PO4靶材,以Li3PO4為靶材,利用反應磁控濺射,在石墨烯層上沉積LiPON電解質層;以石墨烯為靶材,利用反應磁控濺射,在LiPON電解質層上沉積石墨烯層;以Al為靶材,通過反應磁控濺射,在石墨烯層上沉積Al層集流體。本發明充分運用石墨烯的高比表面積、高導電性、高離子遷移率以及良好的浸潤性的特性,制備具有高離子電導率、良好安全性能和長循環壽命的鋰離子電容器。
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