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    基于單晶鈮酸鋰薄膜的偏振濾波型相位調制器

    669   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:22:58
    本發明公開了一種基于單晶鈮酸鋰薄膜的偏振濾波型相位調制器，可應用于光通信、光計算、微波光子技術等，屬于集成光學領域。本發明器件結構主要是鈮酸鋰薄膜(LNOI)上沉積氮化硅構成加載條型直波導、直波導上前端做金屬銀覆層構成具有偏振濾波功能的波導結構，以及在波導后端兩側設置相位控制電極結構。本發明的結構設計可同時實現偏振濾波和相位調制，使整個結構更為緊湊、高效，更有利于實現光路集成。
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    聲明：
    “基于單晶鈮酸鋰薄膜的偏振濾波型相位調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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