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    射頻磁控濺射法制備高性能全固態薄膜鋰電池的方法

    729   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:34:23
    本發明公開了一種射頻磁控濺射法制備高性能全固態薄膜鋰電池的方法。該方法包括以下步驟：(1)設計在不同徑向尺寸上相同電池形狀的掩模版；(2)在襯底基片上覆蓋掩模版，在磁控濺射設備上裝樣，安裝靶材；(3)射頻磁控濺射法濺射正極集流體、正極、電解質、負極、負極集流體，制備薄膜電池；(4)對不同徑向尺寸上獲得的電池分別進行充放電性能測試；(5)分析獲得徑向性能最優的區域。采用本發明的方法通過對不同徑向尺寸上獲得的薄膜電池進行性能分析，可以獲得具有最佳性能的徑向區域。
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