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    薄膜鈮酸鋰雙平行電光調制器集成芯片

    683   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:40:08
    本發明公開了一種薄膜鈮酸鋰雙平行電光調制器集成芯片，自下而上包括襯底層、掩埋氧化層、電光調制器件層和上包層；電光調制器件層由左至右依次包括輸入光波導、輸入分光耦合器、兩個并列的馬赫增德爾電光強度調制器、電極復合輸出合路耦合器和輸出光波導，其中兩個并列的馬赫增德爾調制器包括輸入分光耦合器、深刻蝕區、矩形地電極、T形地電極、矩形信號電極、T形信號電極、T形地電極、共用的矩形地電極、夾在電極間的傳輸光波導和輸出合路耦合器。通過引入雙平行電光調制結構和T型電極結構，可以更靈活地調制光信號，提升微波光波匹配效果并降低器件的功耗。
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    聲明：
    “薄膜鈮酸鋰雙平行電光調制器集成芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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