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    鋰離子電池負極集流體材料及制備方法

    768   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:46:23
    一種鋰離子電池負極集流體材料，包括金屬銅箔，金屬銅箔表面覆有碳化硅層，碳化硅層厚度是0.003-0.009mm。采用物理氣相沉積方法中的射頻磁控濺射工藝制備材料，其工藝條件為：以碳化硅為濺射靶，金屬銅箔為濺射基材，通入氬氣，射頻電源頻率為30-50MHz，加速電壓為300-500V，磁場為50-200G，氣壓為1-5mTorr，電流密度為30-50mA/cm，功率密度為20-40W/cm，濺射靶與基材之間的距離為50-100mm，基材的速度為20-30m/min。
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