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    > 含鋰過渡金屬氧化物靶

    含鋰過渡金屬氧化物靶

    1121   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:00:30
    本發明公開了一種形成具有雙模態顆粒尺寸分布的LiMO2(例如LiCoO2)濺射靶(如空心圓柱靶體)的方法，其包括基于CIP的方法，所述方法涉及例如形成或獲得LiMO2(例如LiCoO2)粉末；分散和研磨(例如濕磨)；粘結劑引入；干燥(例如噴霧干燥)，以形成顆粒；將所述顆粒CIP加工成模制形狀；以及用于去粘結和燒結的加熱循環，以形成致密化的燒結形狀。所制造的靶體適用于被包括到濺射靶組件上(如旋轉濺射靶組件，其中多個圓柱形靶體連接于背襯支撐件)。本發明包括根據基于CIP的方法以及基于感應加熱器的方法形成的所得靶體，其用于通過使用被提供給靶體的并且在連接方法期間被感應加熱器加熱的被添加的導電包裹物或導電層將LiMO2(例如LiCoO2)的低電導率靶體連接(例如用金屬焊料粘合)到共用背襯支撐件。
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    聲明：
    “含鋰過渡金屬氧化物靶” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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