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    混合集成型片上光頻梳及其制備方法

    972   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:02:46
    本發明公開了一種混合集成型片上光頻梳，包括依次相鄰的硅基底、二氧化硅襯底和薄膜鈮酸鋰，薄膜鈮酸鋰上異質集成一層氮化硅波導；氮化硅波導包括橫跨薄膜鈮酸鋰上表面的氮化硅直波導，以及位于氮化硅直波導一側的氮化硅微環；氮化硅微環下方的薄膜鈮酸鋰為圓周極化薄膜鈮酸鋰。本發明的片上光頻梳結合了周期極化鈮酸鋰與氮化硅波導的優良特性，避免了直接刻蝕鈮酸鋰的工藝要求，能夠利用鈮酸鋰的高效非線性，簡化工藝的同時保證了器件效能；圓周極化薄膜鈮酸鋰引入的準相位匹配與氮化硅波導的尺寸設計引入的色散波匹配技術相結合，使得對泵浦波的頻率要求突破了單頻率的限制，實現可調諧自由光譜范圍的微環。
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    聲明：
    “混合集成型片上光頻梳及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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