本發明是關于一種靶材,特別是關于一種電致變色材料用靶材、制備方法及其應用。所述的電致變色材料用靶材的分子式為LixAyOz,式中1≤x≤6,4≤y≤9,9.5≤z≤27.5,x+y=10,所述的A為過渡金屬。所述的靶材的制備方法包括:壓制胚體,將氧化鋰粉與過渡金屬粉混合制得混合粉,在1-40×105N的壓力下壓制成胚體;燒結,將制成的胚體在900-1600℃中燒結0.1-4h,制成靶材。采用本發明所述的電致變色材料用靶材,用濺射沉積法制備電致變色薄膜,所制得的電致變色薄膜中含有Li+,因此不需要進行鋰化過程,且鋰化率較高,簡化了生產工藝,提高了生產效率,克服了現有鋰化過程易引入雜質且Li+在薄膜中分布不均勻等問題。
聲明:
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