本發明的聲表面波元件,在鈮酸鋰或鉭酸鋰制成的壓電基片上形成電極,以傳播聲表面波。對于鈮酸鋰制成的壓電基片,該壓電基片的切割面和聲表面波傳播方向用歐拉角(Φ,θ,φ)和與此實際等效的范圍表示時,將Φ設定為0°~86°或95°~180°,θ設定為73°~118°,φ設定為0°~44°范圍。而對于鉭酸鋰制成的壓電基片,該壓電基片的切割面和聲表面波傳播方向用歐拉角(Φ,θ,φ)和與此實際等效的范圍表示時,則將Φ設定為0°~87°或91°~180°,θ設定為80°~120°,φ設定為0°~44°范圍。由此可以實現高性能的聲表面波元件。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)