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    新型高效率的片上中紅外聲光調制器及其制備方法

    733   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:05:35
    本發明公開了一種新型高效率的片上中紅外聲光調制器及其制備方法，所述新型高效率的片上中紅外聲光調制器包括設置在基片上的鈮酸鋰?硫系玻璃異質層，所述鈮酸鋰?硫系玻璃異質層包括鈮酸鋰薄膜以及鈮酸鋰薄膜上異質集成的紅外硫系光波導，所述紅外硫系光波導由單層或者多層不同組分硫系玻璃薄膜材料組成，所述鈮酸鋰薄膜上設置叉指換能器，所述叉指換能器包括若干叉指電極。本發明綜合利用硫系玻璃材料優異的聲光特性、紅外譜段透明性與鈮酸鋰薄膜顯著的壓電效應，集成聲表面波換能器與硫系光波導元件，解決了中紅外光波損耗與聲波損耗之間的平衡問題，進而解決了高頻率瑞利聲表面波與中紅外光波導兩者間互相作用的問題。
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    聲明：
    “新型高效率的片上中紅外聲光調制器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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