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    用于體聲波諧振器制作的方法、體聲波諧振器、濾波器

    1159   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:08:11
    本申請涉及體聲波諧振器技術領域，公開一種用于體聲波諧振器制作的方法，包括：提供襯底片，襯底片包括待移除層和在待移除層上形成的壓電層；壓電層由鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體制成；在壓電層遠離待移除層的一側形成下電極結構；在下電極結構遠離壓電層的一側形成諧振載體；移除待移除層；在壓電層遠離下電極結構的一側形成上電極結構；在諧振載體、下電極結構之間形成空腔。這樣，通過利用具有壓電特性的鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體作為壓電層，對壓電層進行雙面制作形成的體聲波諧振器，從而能夠由具有壓電特性的鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體構成的壓電層形成體聲波諧振器。本申請還公開一種體聲波諧振器、濾波器。
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    聲明：
    “用于體聲波諧振器制作的方法、體聲波諧振器、濾波器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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