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    壓電性單晶基板與支撐基板的接合體

    1068   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:11:38
    本發明在由鈮酸鋰等形成的壓電性單晶基板1(1A)與支撐基板3的接合體8(8A)中，抑制加熱時的接合體的翹曲。接合體8(8A)具備：支撐基板3；壓電性單晶基板1(1A)，所述壓電性單晶基板1(1A)由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰以及鈮酸鋰－鉭酸鋰構成的組中的材質形成；以及非晶質層7，所述非晶質層7包含選自由鈮和鉭構成的組中的一種以上金屬原子、構成支撐基板3的原子以及氬原子，且存在于支撐基板3與壓電性單晶基板1(1A)之間。非晶質層7的中央部的氬原子的濃度高于非晶質層7的周緣部的氬原子的濃度。
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    “壓電性單晶基板與支撐基板的接合體” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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