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    半導體檢測設備內部凈化裝置

    938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:13:59
    本實用新型公開了半導體檢測設備內部凈化裝置，包括設備容腔、鋁鋰合金片、觸動元件、反饋控制組件和收集板。所述鋁鋰合金片安裝于所述設備容腔內部。所述觸動元件連接所述鋁鋰合金片，并提供能源予鋁鋰合金片。所述反饋控制組件包括傳感器和控制器，所述傳感器安裝于設備容腔內部，監測設備容腔內部狀況，所述控制器分別連接傳感器與觸動元件，接收傳感器反饋信息并控制觸動元件。所述收集板設于設備容腔內并與鋁鋰合金片的位置相對。通過設置本實用新型可有效地縮短半導體檢測設備維修時間和零部件清潔時間，增加半導體檢測設備的可使用時間，從而增加半導體檢測設備零部件使用壽命。
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    聲明：
    “半導體檢測設備內部凈化裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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