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    薄膜晶體管器件的制作方法、薄膜晶體管器件及顯示裝置

    862   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:14:36
    一種薄膜晶體管器件的制作方法、薄膜晶體管器件及顯示裝置，其包括設于基板上的柵極，設置于柵極和基板上的絕緣層，設于絕緣層上的有源層，其中，有源層中摻雜有鋰元素，有源層包括頂層有源層和底層有源層，底層有源層為摻雜鋰元素的氧化鋅銦，頂層有源層為摻雜鋰元素的氧化鋅錫，底層有源層覆蓋于絕緣層上，頂層有源層覆蓋于底層有源層上，頂層有源層上設置有源極和漏極，絕緣保護層設于源極和漏極上，通過在有源層中摻雜鋰元素，以置換有源層中的鋅，從而降低了有源層的退火溫度，提升了薄膜晶體管器件的的載流子遷移率、開關比，解決了傳統薄膜晶體管器件存在的有源層退火溫度高、制備條件苛刻的問題。
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