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    橫向激勵剪切模式的聲學諧振器的制造方法

    1114   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:14:36
    本發明涉及一種橫向激勵剪切模式的聲學諧振器的制造方法，包括：提供壓電層，壓電層包括單晶材料的鈮酸鋰和/或單晶材料的鉭酸鋰；在壓電層的第一表面形成聲學鏡；聲學鏡包括至少一第一聲反射層和至少一第二聲反射層，第一聲反射層和第二聲反射層交替疊設，各第一聲反射層的聲阻抗小于各第二聲反射層的聲阻抗；在聲學鏡的第一表面鍵合承載晶圓；在壓電層的第二表面形成電極單元和橫向反射器。本發明將采用單晶材料的鈮酸鋰或鉭酸鋰的壓電層集成到定制開發的微加工工藝流程中，形成的諧振器通過電極單元產生電場，并通過橫向反射器對聲波進行橫向反射，從而可以激勵為橫向的剪切振動模式，并在3GHz以上的頻率下具有高機電耦合系數和高Q值。
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