本發明提供了一種片上調制的集成光學諧振腔,應用多層波導結構,實現集成光學諧振腔的有源無源器件的高度集成化設計。本發明的集成光學諧振腔為集成的上下兩層結構,在下層的波導基底上制備諧振腔和傳輸波導,鈮酸鋰波導調制器制作在諧振腔上層,鈮酸鋰波導調制器通過在鈮酸鋰波導兩側施加電場,改變波導的等效折射率,實現波導中光相位延遲量的調制。鈮酸鋰波導與位于下層的諧振腔或傳輸波導之間制備有跨層耦合器。本發明去除了外部調制器與諧振腔的光纖耦合結構,采用調制器與諧振腔的垂直直接耦合,可減小入腔光偏振消光比的衰減,以保持更高的入腔偏振消光比,簡化了系統模型,提高了系統集成化程度,增強了系統可靠性。
聲明:
“片上調制的集成光學諧振腔” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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