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    基于聲表面波的微構件非接觸式操控裝置及方法

    795   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:16:36
    本發明公開了一種基于聲表面波的微構件非接觸式操控裝置及方法。裝置包括鈮酸鋰晶片、波導基底、操控腔室和八個叉指電極，操控腔室的底面粘貼有波導基底，粘貼有波導基底的操控腔室固定安裝在鈮酸鋰晶片的中心，微構件放置在操控腔室中，鈮酸鋰晶片上沿著操控腔室側面依次固定安裝有八個叉指電極，每一個叉指電極均與外部的信號發生器的輸出通道相連，每一個叉指電極與其下方的鈮酸鋰晶片均構成一個聲表面波叉指換能器。方法用于實施裝置的非接觸式操控。本發明能實現多種模式下的微構件可控非接觸平移、組裝以及旋轉的精準調控，具有操作簡便、可控性強、設備簡單、非接觸以及精度高等特點。
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