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    制造近化學計量比的單晶薄膜的方法

    804   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:19:18
    本發明公開了一種制造近化學計量比的單晶薄膜的方法，該方法包括：通過離子注入法將離子注入原始基板的表面，從而在原始基板中形成薄膜層、分離層和余質層；使目標基板與原始基板的薄膜層接觸，進而利用晶片鍵合法將原始基板與目標基板鍵合在一起，以形成鍵合體；對鍵合體進行加熱，使得薄膜層和余質層分離；在薄膜層和余質層分離之后，在裝有擴散劑的預定容器內以200℃～700℃的溫度對薄膜層加熱，其中，擴散劑包括氧化鋰和硝酸鋰中的至少一種。本發明的方法，可以有效地避免單晶薄膜缺失鋰相的問題，制作出納米級厚度、膜厚均勻、組分接近理想化學計量比的單晶薄膜。
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    “制造近化學計量比的單晶薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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