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    聲表面波諧振器及濾波器

    738   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 23:22:21
    本發明實施例公開了一種聲表面波諧振器及濾波器。該諧振器包括依次層疊設置的支撐層、溫度補償層、壓電層、叉指換能器層和調頻層;叉指換能器層包括多個叉指換能器,壓電層的材料包括X?40Y鈮酸鋰,支撐層的聲體波傳播速度大于壓電層的聲表面波傳播速度;調頻層至少覆蓋叉指換能器。本發明實施例對聲表面波諧振器的壓電層以及支撐層進行改進,由于X?40Y鈮酸鋰傳播聲波的速度較高,使得諧振器的工作頻率大幅提升,達到5G甚至5G以上頻率;支撐層的聲體波傳播速度大于壓電層的聲表面波傳播速度,能量被限制在表面,不會產生體波泄漏,從而減小器件損耗;本發明實施例增加調頻層,保護叉指換能器的同時可調節諧振器的頻率。
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