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    周期極化LNOI脊型波導及其制備方法

    1193   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:23:21
    本發明公開了一種周期極化LNOI脊型波導，整體結構從基底自下而上包括：硅或鈮酸鋰基底(5)、二氧化硅緩沖層(4)、金電極層(3)、半導體有機高分子層(2)和周期極化鈮酸鋰脊型波導(6)。與現有技術相比，本發明的技術效果包括：1)很大程度上降低了生產難度，提高了成品率；2)顯著降低了波導的傳輸損耗；3)使多功能光電子器件的集成更容易實現；4)使器件獲得更多的非線性效應；5)實現了PP?LNOI波導和頻、差頻功能；6)為進一步設計和制作實用化的頻率變換器件奠定基礎，推動基于LNOI平臺的集成光路和器件向實用化方向邁進，為下一代光電混合集成芯片的研發提供支撐。
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    “周期極化LNOI脊型波導及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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