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    硅基-LN基混合集成光學芯片的制備方法

    996   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:24:42
    本發明屬于集成光學和光纖傳感技術領域，具體涉及一種硅基?LN基混合集成光學芯片的制備方法，該芯片由硅基芯片和鈮酸鋰基兩塊芯片拼接而成，硅基芯片上集成了輸入光波導、1×3Y分支耦合器、第七輸出光波導、第一90°圓弧光波導、第一方向耦合器、第八輸出光波導、第二90°圓弧光波導、第二方向耦合器、第九輸出光波導、第三90°圓弧光波導、第三方向耦合器；鈮酸鋰基芯片上集成了第一Y分支耦合器、第二Y分支耦合器、第三Y分支耦合器。該芯片混合集成了多個關鍵功能波導器件，可實現光束分束、合束及調制等，具有集成度高、一致性好、功率低、體積小和可靠性高等眾多優點，可應用于開發三軸光纖陀螺。
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    “硅基-LN基混合集成光學芯片的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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