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    制備KTP非線性跑道型微環諧振器的方法

    861   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:26:54
    本發明提出一種制備KTP非線性跑道型微環諧振器的方法,包括KTP晶片處理、離子注入、電子束曝光、后續處理、離子刻蝕處理及最后處理六個步驟，通過離子注入一道工序，就實現了與片上鈮酸鋰薄膜材料類似的薄膜狀波導結構的制備，生產流程大大簡化，時間縮短，成本顯著降低，同時，本發明最終制備的KTP非線性微環諧振器，與現存的鈮酸鋰非線性微環諧振器相比，具有更高的光損傷閾值，可將非線性變頻光的輸出功率，由微瓦提升至毫瓦量級，并且適用于輸入和輸出的光信號均為脈沖激光的情形，而離子注入、電子束曝光、金屬蒸發沉積鍍膜、反應離子刻蝕，均為相對成熟的微納加工技術，使得本發明具有良好的可操作性性和可重復性。
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    “制備KTP非線性跑道型微環諧振器的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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