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    全透明的微流控聲學體波芯片及其制備方法

    1124   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:26:57
    本發明公開了一種全透明的微流控聲學體波芯片及其制備方法。其產品由三塊玻璃片和一塊壓電材料構成。三塊玻璃片自上到下堆疊構成的駐波反應腔，上層玻璃片利用激光開有用于流體進出的孔口，并在表面孔口上面鍵合一塊開有對應孔口的較厚的聚二甲基硅氧烷(PDMS)；中層玻璃片上由激光切割穿透玻璃制備了微米級別的溝道；下層玻璃片是完整的玻璃，用于封裝腔室。壓電材料采用鈮酸鋰單晶，其上下表面均鍍上一層透明摻錫氧化銦(ITO)導電薄膜層并粘在諧振腔下表面，鈮酸鋰晶片兩面經過銀漿固化引出兩根導線。本發明所制備的芯片完全透明，可視性極高，可用于細胞/微粒等樣本的聚集、分離和操控；本發明的制備工藝簡單，成本低廉。
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    “全透明的微流控聲學體波芯片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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