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    單晶單疇壓電薄膜及其制備方法

    954   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:29:37
    本發明公開了一種單晶單疇壓電薄膜及其制備方法，單晶單疇壓電薄膜依次包括單晶薄膜層、二氧化硅層、介質層和單晶硅層；其中單晶薄膜層的材料為單晶鈮酸鋰或單晶鉭酸鋰；介質層為單晶硅的損傷層、非晶硅或多晶硅；本發明的單晶單疇壓電薄膜的壓電系數為體材料的98%~100%，而采用現有技術的壓電系數為體材料的10~90%，單疇單晶薄膜在使用時壓電性能穩定，機電耦合系數不會下降，器件帶寬寬、損耗低，一致性好；本發明的制備方法成本低、能耗低、效率高，適用于工業生產，成品率高；所得薄膜中數十納米的二氧化硅層都可以達到厚度可控、厚度偏差小、表面平整、均勻性好的效果，因而所得器件具有較好的一致性。
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