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    基于多材料體系的光電單片集成系統

    1257   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:29:38
    本發明提供了一種基于多材料體系的光電單片集成系統，該系統磷化銦?硅激光器、硅無源光子器件、氮化硅無源光子器件、氮化硅?鈮酸鋰電光調制器、鍺?硅探測器和電子電路集成在同一襯底上，用于減少了光電系統的尺寸，減少電、光互聯距離，從而極大的減少寄生參數對集成系統的不利的影響；避免了光路模塊和電路模塊間的封裝，降低了封裝成本。發揮鈮酸鋰材料優異的電光性能、氮化硅材料低損耗、低偏振敏感度、高工藝容忍度與硅材料高折射率的優勢，實現性能優異的單片光電集成系統。
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    聲明：
    “基于多材料體系的光電單片集成系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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