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    含有金屬的化合物,其制備方法、含有金屬的薄膜和其形成方法

    1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:36:17
    本發明提供具有合適的熱穩定性、合適的揮發性，適宜于作為CVD法或ALD法原料的化合物，該化合物的制備方法、該化合物作為原料形成的薄膜和薄膜形成方法。通式(1)表示的化合物通過使通式(2)表示的化合物與通式(3)表示的化合物反應制備。使用制備的該化合物為原料形成含金屬薄膜。(在通式中，M表示第4族原子、鋁原子、鎵原子等；根據情況n是2或3；R1和R3各自表示具有1－6個碳原子的烷基等；R2表示具有1－6個碳原子的烷基等；R4和R5各自表示具有1－4個碳原子的烷基等；X表示氫原子、鋰原子或鈉原子；根據情況p是1或2；和根據情況q是4或6)。
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