本發明涉及一種薄膜電解質及其制備方法,是通過磁控濺射法制備具有NASICON結構的鋰薄膜電解質,其具有較高的離子電導率、良好的化學穩定性、較寬的電化學穩定窗口、優良的機械性能及寬的應用溫度范圍。通過摻雜元素種類及比例的變化,得到不同性能的薄膜電解質,并通過濺射過程中氮氣的引入,進一步改善了薄膜的性能。該薄膜電解質在薄膜鋰電池、薄膜超級電容器、電致色變器件、傳感器或其他新型電化學器件領域有廣闊的應用前景。
聲明:
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