三維有序大孔硅或鍺薄膜的制備方法,涉及一種大孔薄膜的制備方法。是要解決現有的制備三維有序大孔硅或者鍺薄膜的方法所用設備復雜,成本高,所用原料有毒的問題。方法:一、將銅箔用鹽酸浸泡,無水乙醇擦拭,將銅箔固定在玻璃基片上,處理;二、使用三電極的電解池,用恒電勢法進行電沉積硅或鍺;三、取出電解池中的電解液,干燥,滴加偶聯劑三乙基氯硅烷浸泡;四、拆卸電解池,滴加四氫呋喃,清洗,干燥,即得到三維有序大孔硅或鍺薄膜。本發明的方法無需復雜設備,操作簡便,室溫即可實現,能耗低。用于鋰離子電池的負極材料領域。
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