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    彈性波裝置、彈性波濾波器以及復合濾波器裝置

    927   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:40:21
    提供一種不易產生紋波的彈性波裝置。彈性波裝置(1)在包含硅的支承基板(2)上層疊有氧化硅膜(3)、鉭酸鋰膜(4)、IDT電極(5)以及保護膜(8)，關于鉭酸鋰膜的波長標準化膜厚TLT、歐拉角的θLT、氧化硅膜(3)的波長標準化膜厚TS、換算為鋁的厚度的IDT電極(5)的波長標準化膜厚TE、保護膜的波長標準化膜厚TP、支承基板(2)的傳播方位ψSi、支承基板(2)的波長標準化膜厚TSi的值，設定TLT、θLT、TS、TE、TP和ψSi，使得Ih大于?2.4，其中，Ih對應于關于雜散(A、B、C)的響應中的至少一個響應由下述的式(1)表示的雜散的響應的強度。
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