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    光開關

    983   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:42:36
    本申請提供一種光開關，包括第一無源波導結構、第二無源波導結構和有源波導結構，有源波導結構設于第一無源波導結構和第二無源波導結構之間；第一無源波導結構和第二無源波導結構均采用氮化硅材料制備形成，有源波導結構采用鈮酸鋰薄膜材料制備形成；本申請提出的光開關將氮化硅的較低傳輸損耗的優勢與鈮酸鋰薄膜的優異的電光特性的優勢結合，使得兩種材料混合集成的光開關具有低損耗、快開關速度與低功耗等優勢。
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    聲明：
    “光開關” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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