一種含HF酸尾氣處理裝置,包括六氟磷酸鋰合成尾氣管、冷凝器、氟化氫接收罐、反應器、分離罐以及回收罐,所述六氟磷酸鋰合成尾氣管與冷凝器氣體進口連接,冷凝器的冷凝液出口與氟化氫接收罐連接,冷凝器氣體出口與反應器進口連接,反應器內預置有SiO2粉末,反應器出口與分離罐連接,分離罐內預置有乙醚,分離罐出口與回收罐連接。本實用新型先將HF轉變為SiF4,再通過乙醚使HCl和SiF4的分離,省去了傳統的洗滌塔等洗滌設備,工序簡單,HCl和HF分離徹底,且SiF4和HCl均可回收利用,真正實現尾氣零排放,并且,SiF4轉變為氟硅酸,有利于提高氟資源的綜合利用率,經濟效益高。
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