本發明提供了一種復合型錳氧化合物薄膜及其制備方法與應用。所述復合型錳氧化合物薄膜的制備方法包括的步驟有:將錳氧化合物靶材和能量密度貢獻主體元素靶材在惰性氣氛下進行共濺射處理,在基體上生長復合型錳氧化合物薄膜。本發明復合型錳氧化合物薄膜的制備方法將錳氧化合物靶材和能量密度貢獻主體元素靶材直接采用共濺射法沉積形成。使得生長的復合型錳氧化合物薄膜具有界面電阻小和比表面積大的特性,而且可以減少固體電解質膜(SEI)的產生,減輕周期性體積變化的應力,保持鋰離子嵌入/脫出過程中的結構穩定性。另外,所述制備方法有效保證生長的復合型錳氧化合物薄膜化學性能穩定。
聲明:
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