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    提高FIB刻蝕超淺光柵結構側壁垂直度的方法及系統

    1155   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:03:59
    本發明提供一種提高FIB刻蝕超淺光柵結構側壁垂直度的方法及系統，涉及離子束加工技術領域，包括：步驟S1：在目標材料上制備掩膜層；步驟S2：根據需要刻蝕的光柵結構設計優化FIB刻蝕參數；步驟S3：利用FIB刻蝕參數從掩膜層表面開始刻蝕，刻蝕深度至目標材料表面以下；步驟S4：去除掩膜層，在目標材料表面形成高側壁垂直度的超淺光柵結構。本發明能夠在鈮酸鋰等非導電材料表面實現刻蝕深度100nm以下、深度可控精度小于10nm、側壁垂直度80°以上的超淺光柵結構。
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    加工技術
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