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    基于數字光的超聲輔助微結構選區成形制造裝置及方法

    997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:06:25
    本發明公開了一種基于數字光的超聲輔助微結構選區成形制造裝置及方法。雙面拋光鈮酸鋰晶片布置在光學支架的透光孔上，至少一對叉指換能器正交排布在晶片四周，PDMS氮氣保護殼置于換能器上方，透光孔正下方依次設有匯聚透鏡和數字式微棱鏡芯片，紫外光源和準直透鏡依次傾斜安裝在光學支架的側面。晶片上涂覆光敏液體，啟動叉指換能器使聲表面駐波場耦合入光敏液體內形成微結構陣列；放置氮氣保護殼，輸入DMD掩膜版，紫外光經準直透鏡后照射在數字式微棱鏡芯片進行選擇反射，然后依次穿過匯聚透鏡、晶片射入光敏液體內，曝光區域的光敏液體固化，得到指定形狀的微結構陣列薄膜。本發明實現了紫外光的數字選擇，成形區域控制精度高，響應速度快。
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    “基于數字光的超聲輔助微結構選區成形制造裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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