本發明的課題之一是實現一種能夠使固態二次電池的制造全自動化的制造裝置。本發明的制造裝置包括掩模對準室、與掩模對準室相連的第一傳送室、與第一傳送室相連的第二傳送室、與第二傳送室相連的第一成膜室、與第一傳送室相連的第三傳送室以及與第三傳送室相連的第二成膜室,第一成膜室具有通過濺射法形成正極活性物質層或負極活性物質層的功能,第二成膜室具有進行鋰的有機配合物與SiOx(0
聲明:
“固態二次電池的制造裝置及固態二次電池的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)