本發明公開了一種基于級聯雙環諧振腔游標效應的光學加速度計芯片。包括寬譜光源、模斑轉換器、光隔離器、敏感單元、上電極、下電極、F?P腔、第一Y波導、第二Y波導、2:1型Y波導、第一光功率計、第二光功率計、解調反饋電路、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅氧化層、硅襯底、封裝外殼。本發明具有兩個獨立的光學諧振腔:施加x向加速度,第一環形波導與橢圓盤間距改變,造成諧振波長的偏移,可以同時獲得加速度的大小與方向;兩個諧振腔的半徑有微小差異,利用光學諧振腔輸出光干涉產生的游標效應可以放大第一環形波導諧振波長的頻移信號。本發明體積小、精度高、制造工藝簡單,抗電磁干擾,有較高的可靠性。
聲明:
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