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    非極性面INN材料的生長方法

    950   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 00:13:42
    一種非極性面InN材料的生長方法,利用金屬有機物化學汽相外延MOCVD生長 系統,在鋁酸鋰LiAlO2(100)襯底上合成生長m面InN材料以及高In組分m面InGaN 材料,所述m面是非極性面的一種,高In組分指InxGa1-xN材料中In組分x大于0.3。 本發明利用MOCVD生長系統,采用LiAlO2(100)材料作為襯底、對LiAlO2(100)襯底 進行處理以及利用低溫緩沖層,合成生長m面InN材料以及高In組分m面InGaN材料, 通過選擇合適的襯底,在MOCVD系統下,選擇適當的生長的技術條件,并利用緩沖 層的設計,生產得到非極性面InN材料。
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