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    高頻聲表面波諧振器及其制備方法

    1172   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:15:03
    本發明公開了一種高頻聲表面波諧振器及其制備方法，涉及5G通信的微電子器件，針對現有技術中鍵合轉移溫度高和機電耦合系數低等問題提出本方案。在高聲速襯底遠離第一襯底的端面設置第一鍵合金屬層，在壓電薄膜遠離叉指電極的端面設置第二鍵合金屬層，通過第一鍵合金屬層與第二鍵合金屬層完成壓電薄膜與高聲速襯底的鍵合處理。優點在于，與低溫金屬鍵合工藝兼容，金屬鍵合的工作溫度更低，可以大大降低器件的熱應力。其次金屬鍵合可以使得鍵合界面獲得更大的鍵合能，器件更穩定。另外，以X切鈮酸鋰為壓電薄膜，且叉指電極的垂直方向與壓電薄膜Z軸成44°夾角，可以獲得更高的機電耦合系數，從而提高器件的帶寬。
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    “高頻聲表面波諧振器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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