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    聲表面波器件

    1213   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:15:03
    本發明公開了一種聲表面波器件，包括依次疊置的壓電薄膜層和襯底層，以及包括設在壓電薄膜層的遠離襯底層一側的叉指換能器，壓電薄膜層為鈮酸鋰薄膜；壓電薄膜層利用水平剪切型聲表面波，壓電薄膜層的歐拉角為(0°，90±10°，90±10°)；或者，壓電薄膜層利用高階瑞利型聲表面波，壓電薄膜層的歐拉角為(50±5°，20±5°，0°)。本發明公開的聲表面波器件能夠激發兼具高聲速、高機電耦合系數和導納/阻抗比的聲表面波，提高了聲表面波器件的工作頻率、帶寬和品質因數，滿足5G通信高頻、大帶寬的應用需求。
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    聲明：
    “聲表面波器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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